אחד הכלים החשובים ביותר המשמשים בתי יציקה בייצור שבבים חדישים הוא מכונת הליטוגרפיה האולטרה סגולה (EUV) קיצונית. עם מיליארדי טרנזיסטורים בתוך הרכיבים הקטנים הללו (יש 19 מיליארד טרנזיסטורים בתוך כל A17 Pro SoC המשמש ב-אייפון 15 פרוואייפון 15 פרו מקס), דפוסי המעגלים שנחרטו על פרוסת הסיליקון שבסופו של דבר נפרסת לקוביות בודדות חייבות להיות דקות עד כדי גיחוך. וכאן נכנסת לתמונה מכונת ה-EUV.
החברה ההולנדית ASML היא החברה היחידה המייצרת מכונות EUV. בערך בגודל של אוטובוס בית ספר, כל מכונה עולה 150 מיליון דולר. ASML הייתה אמורה לשלוח השנה 60 מכונות EUV. והיום, לפי Tom's Hardware, החברה שלחה את מכונת ה-EUV מהדור השני הראשון המכונה מכונת ה-High-NA EUV. המשלוח הראשון מגיע לאינטל שתשתמש בו עבור צומת התהליך 18A (18 אנגסטרם) 1.8 ננומטר שלה, שאמור להתחיל בייצור המוני ב-2025.
בשנת 2025, כאשר גם TSMC וגם Samsung Foundry צפויות להתחיל בייצור המוני של 2nm, הצומת 1.8nm של אינטל יעניק לה מובילות תהליכית בתעשייה. על פי ההערכות, אינטל מוציאה 300-400 מיליון דולר עבור מכונת ה-High-NA EUV. דובר ASML אמר היום, "אנחנו שולחים את מערכת High NA הראשונה והכרזנו על כך בפוסט במדיה החברתית היום. היא עוברת לאינטל כמתוכנן והוכרז קודם לכן".
ASML צפויה לשלוח 60 מכונות EUV השנה
כפי שסיפרנו לכם לפני שנתיים,High-NA מייצג צמצם מספרי גבוה. ככל שמספר ה-NA גבוה יותר, כך הרזולוציה של הדפוס שנחרט על גבי פרוסת הסיליקון גבוהה יותר. בעוד שלמכונות EUV הנוכחיות יש צמצם של .33 (שווה ערך לרזולוציה של 13nm), למכונות High NA יש צמצם של .55 (שווה ערך לרזולוציה של 8nm). עם תבנית רזולוציה גבוהה יותר המועברת לפריקה, בית היציקה יכול להימנע מהצורך להפעיל רקיק דרך מכונת ה-EUV פעמיים כדי להוסיף תכונות נוספות החוסכות זמן וכסף.
מכונת ה-High-NA EUV עוסקת בהקטנת גודל הטרנזיסטורים והגדלת הצפיפות כדי לארוז טרנזיסטורים נוספים בתוך שבב. ככל שספירת הטרנזיסטורים של השבב גבוהה יותר, כך הוא חזק וחסכוני יותר באנרגיה. עם מכונת ה-High-NA, ניתן להקטין את התכונות פי 1.7 עם עלייה של פי 2.9 בצפיפות.
עובדי ASML עומדים מול מכולה המכילה את מכונת ה-High-NA EUV הבלתי מורכבת הפונה לאינטל
משלוח מכונת ה-High-NA EUV אינו משימה קלה. הוא מחולק ל-13 מכולות גדולות ו-250 ארגזים. הרכבת המכונה עשויה להיות קצת יותר קשה מאשר להרכיב את האופניים שקניתם לילדכם לחגים.
